纳米的极紫外光源,它的出现时间已经要算到2010年之后了。
时下,G线光源还是集成电路制造中使用的主流光源。i线光源光刻机已经问世,但还没有得到大规模推广。至于KrF,实验室概念已经提出来了,真正投入使用,还得是十年后的事情。
光刻的原理,与冲洗照片是一样的。首先,要把电路图制作成底片,称为掩膜。光源通过掩膜照射在涂了光刻胶的芯片基材上。
光刻胶由树脂、感光剂、溶剂和添加剂组成,其中的感光剂在光线照射下会发生反应,使曝光区的光刻胶溶解,这就相当于把掩膜上的电路图案复制到了芯片基材上。
随后,再进行蚀刻、离子注入、封装等操作,一枚芯片就制作完成了。
光刻胶中感光剂的选择,与光源是密切相关的,这涉及到化合物在不同波长光线作用下的变化,机理十分复杂。
徐云是知道这些概念的。他原本就是物理系的学生,枫林研究所聘请他的老师前来参与这个项目,就是因为其中涉及到一些光学方面的问题。他在项目组里耳濡目染了这么久,对于这些问题自然是非常了解的。
听到高凡的问题,徐云也只能把心里那些杂念抛开,认真地答道:“我们现在研究的重点,就是G线光刻胶,这也是目前应用最广泛的。
“i线光刻胶这方面,毕主任在实验室会议上提过几次,让大家有时间做一些积累,不过目前条件还不成熟。再至于说KrF光刻胶,好像国外也刚刚开始研究吧?”
“你说i线光刻胶的条件不成熟,是指什么?”高凡问道。
徐云道:“不是我说的,而是毕主任说的。现在国内根本就没有使用i线光源的光刻机,国外也不多,研究i线光刻胶,是不是有些操之过急了?”
“我想跟你说的,就是这个。”高凡说,“对了,徐师兄,摩尔定律你听说过没有?”
“当然听说过。”徐云不忿地说,“不就是集成电路上的晶体管数量,每两年就增加一倍吗?我们好几个老师上课的时候都提过。”
“不愧是科大,思维很前卫。”高凡翘个大拇指,赞了一句,却换来了徐云一个白眼。
摩尔定律是1965年提出的,不过直到70年代中期才受到人们的重视。随着集成电路技术的迅猛发展,摩尔定律一再得到印证,一时间在西方科技界和产业界倍受推崇。
此时的中国,在全球半导体市场上完全是小透明,根本不具备评论半导体产