常羡慕。
唉……还是姐夫厉害,如果能和姐夫关系再好点嘻嘻
只是没想到他们这么快就和好,自己一点机会都没有,黄莺心里暗暗叹气。
顾北可没想到和黄鹂亲热聊着的黄莺竟然再打自己的主意,他进了客厅,只有张文华一个人在。
“怎么就你一个?”黄鹂有些奇怪。
“我听阿姨说黄叔叔晚上有应酬,明哥刚才打电话所晚上要加班回不来,嫂子晚上夜班,阿姨在厨房炒菜。”张文华赶忙解释道。
“那和你顾北闲聊,我和莺莺去厨房帮忙。”黄鹂转身就往外走,看到黄莺不想动,瞪了她一眼硬把她拉了出去。
现在客厅就剩顾北和张文华两人,顾北随意寒暄就问道:“193纳米光源研究的怎么样?”
听顾北问这,张文华一脸苦笑:“几乎没什么进展,193n波长步进扫描曝光机,光学光刻分辨率到达70n的“极限”,据我们了解,日本尼康利用自己在干式微影技术的优势,继续开发157纳米的f2激光光源,这也是我们研究方向。”
怎么是干式?
顾北突然记得记得网上曾经说过,不是asl公司的光刻机是什么“浸润式”的吗?这两者有啥区别?
“啥叫干式微影?”顾北问道。
张文华没想到顾北竟然对这种很专业的术语感兴趣,想了想才解释道:“所谓干式,是指就是指光刻机投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片上的光刻胶之间用的是空气做介质,顾名思义干式。”
“那为啥不用液体呢?”
顾北突然问道。
“你说用液体?”张文华神情很诧异。
“为什么不行?”没想到顾北的神情很认真:“不是要降低光的波长,光源出发是根本方法,水会改变光的折射率——这个高中生都知道吧?在透镜和硅片之间加一层水,原有的193n激光经过折射,不就降低了吗?”这段话还是顾北重生前在网上看到的。
“顾北,没你想到这么简单!”张文华口气中带着沮丧:“就在干式微影老攻克不下来的时候,我也想到了用液体做介质,但实验了一段时间最后决定放弃。”
“为什么?”
“因为这里面有几乎无法克服的苦难,如果用水,浸入环境很容易引起缺陷,包括气泡和污染,还有抗蚀剂与流体或面漆的相容性问题,抗蚀剂的折射指数如何能大于18等等一系列问题都无法克服。”
听