许秋设置好金靶材的各项参数,包括密度、Z因数等,然后启动电流加热装置,将电流输出端调至金靶材的回路,同时向莫文琳吩咐道:
“莫文琳,你记录一下实验条件,刚刚三氧化钼是565摄氏度,0.2-0.3埃每秒,膜厚是10纳米。接下来的金、银电极膜厚分别为1纳米和9纳米,计划蒸镀速率是0.2埃每秒……”
“好的。”莫文琳点点头,然后从蒸镀手套箱顶上摸出一本实验记录本出来,开始记录。
像这种大型仪器的使用都是需要记录的,要是出现问题比较容易追责,当然,也不完全是为了追责,这样做还能让实验人员不至于忘记之前的实验条件。
尤其是不熟练的新人,如果忘记了实验条件,旁边还没有老人可以请教,就可以自己翻一翻之前记录的条件进行模仿。
许秋旋转旋钮,缓缓的加大电流强度,从0安培到5安培,再到10安培,然后到15安培。
在这个过程中,膜厚仪显示的实时蒸镀速率都是在±0.01埃每秒之间来回跳动,波动幅度不大。
这主要是因为金的密度比较大,在膜厚仪通过晶振片上的电信号换算蒸镀速率时,密度是在分母上的,所以气流扰动等造成的误差就会变小。
在15安培的时候,许秋把电流稳定住,并停留了几分钟。
这一步是习惯使然,目的是预热,把钨丝和靶材的温度先往上提一提。
在蒸镀铝的时候这一步非常有用,一方面可以防止蒸镀速率不受控制,另一方面如果不进行预热,可能会导致挂在螺旋状的钨丝上的铝条掉落,甚至钨丝直接熔断,导致实验失败。
虽然蒸镀金、银的时候用的不是螺旋状的钨丝而是钨篓,但小心一些总没有坏处。
许秋继续提高电流,直至17.5安培的时候,蒸镀速率从±0.01埃每秒开始0.01、0.01的往上跳动,同时电流值也开始波动,表明金靶材已经开始熔化。
等了几秒钟,蒸镀速率达到0.10埃每秒附近,渐渐稳定了下来。
许秋没有犹豫,直接同时按下膜厚仪清零按钮和样品挡板按钮,开始蒸镀。
然后,他一只手操作电流控制旋钮,一只手放在样品挡板上,眼睛则时刻盯着蒸镀速率和膜厚,打算随时停止,毕竟要蒸镀1纳米的金,只有10埃而已。
“许秋,不需要继续提升蒸镀速率吗?刚才不是说要把速率调到0.2埃每秒吗?